A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
The effects of ion implantation damage to photonic crystal optomechanical resonators in silicon (2021)

Shakespeare, C., Loippo, T., Lyyra, H., & Muhonen, J. T. (2021). The effects of ion implantation damage to photonic crystal optomechanical resonators in silicon. Materials for Quantum Technology, 1(4), Article 045003. https://doi.org/10.1088/2633-4356/ac3e42

JYU-tekijät tai -toimittajat

Shakespeare, Cliona
Loippo, Teemu
Lyyra, Henri
Muhonen, Juha

Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Shakespeare, Cliona; Loippo, Teemu; Lyyra, Henri; Muhonen, Juha T.

Lehti tai sarja: Materials for Quantum Technology

eISSN: 2633-4356

Julkaisuvuosi: 2021

Ilmestymispäivä: 01.12.2021

Volyymi: 1

Lehden numero: 4

Artikkelinumero: 045003

Kustantaja: IOP Publishing

Julkaisumaa: Britannia

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1088/2633-4356/ac3e42

Julkaisun avoin saatavuus: Avoimesti saatavilla

Julkaisukanavan avoin saatavuus: Kokonaan avoin julkaisukanava

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/79576

Rinnakkaistallenteen verkko-osoite (pre-print): https://arxiv.org/abs/2109.13856

Tiivistelmä

Optomechanical resonators were fabricated on a silicon-on-insulator substrate that had been implanted with phosphorus donors. The resonators' mechanical and optical properties were then measured (at 6 K and room temperature) before and after the substrate was annealed. All measured resonators survived the annealing and their mechanical linewidths decreased while their optical and mechanical frequencies increased. This is consistent with crystal lattice damage from the ion implantation causing the optical and mechanical properties to degrade and then subsequently being repaired by the annealing. We explain these effects qualitatively with changes in the silicon crystal lattice structure. We also report on some unexplained features in the pre-anneal samples. In addition, we report partial fabrication of optomechanical resonators with neon ion milling.

Vapaat asiasanat: photonic crystal; ion implantation; optomechanics; silicon; nanomechanical resonator

Liittyvät organisaatiot

Hankkeet, joissa julkaisu on tehty

OKM-raportointi: Kyllä

VIRTA-lähetysvuosi: 2021

JUFO-taso: 1