A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Nucleation and growth of ZnO on PMMA by low-temperature atomic layer deposition (2015)

Napari, M., Malm, J., Lehto, R., Julin, J., Arstila, K., Sajavaara, T., & Lahtinen, M. (2015). Nucleation and growth of ZnO on PMMA by low-temperature atomic layer deposition. Journal of Vacuum Science and Technology A, 33(1), Article 01A128. https://doi.org/10.1116/1.4902326

JYU-tekijät tai -toimittajat

Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Napari, Mari; Malm, Jari; Lehto, Roope; Julin, Jaakko; Arstila, Kai; Sajavaara, Timo; Lahtinen, Manu

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

eISSN: 1520-8559

Julkaisuvuosi: 2015

Volyymi: 33

Lehden numero: 1

Artikkelinumero: 01A128

Kustantaja: American Institute of Physics

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.4902326

Julkaisun avoin saatavuus: Ei avoin

Julkaisukanavan avoin saatavuus: 

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/44857

Vapaat asiasanat: zinc oxide films; thin film growth

Liittyvät organisaatiot

OKM-raportointi: Kyllä

Raportointivuosi: 2015

JUFO-taso: 1