A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Unusual stoichiometry control in the atomic layer deposition of manganese borate films from manganese bis(tris(pyrazolyl)borate) and ozone (2016)


Klesko, J. P., Bellow, J. A., Saly, M. J., Winter, C. H., Julin, J., & Sajavaara, T. (2016). Unusual stoichiometry control in the atomic layer deposition of manganese borate films from manganese bis(tris(pyrazolyl)borate) and ozone. Journal of Vacuum Science and Technology A, 34(5), Article 051515. https://doi.org/10.1116/1.4961385


JYU-tekijät tai -toimittajat


Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Klesko, Joseph P.; Bellow, James A.; Saly, Mark J.; Winter, Charles H.; Julin, Jaakko; Sajavaara, Timo

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

eISSN: 1520-8559

Julkaisuvuosi: 2016

Volyymi: 34

Lehden numero: 5

Artikkelinumero: 051515

Kustantaja: American Institute of Physics; American Vacuum Society

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.4961385

Julkaisun avoin saatavuus: Ei avoin

Julkaisukanavan avoin saatavuus: 

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/51351


YSO-asiasanat: atomikerroskasvatus; otsoni

Vapaat asiasanat: metallic thin films; manganese borate


Liittyvät organisaatiot

JYU-yksiköt:
Muut organisaatiot:


OKM-raportointi: Kyllä

Raportointivuosi: 2016

JUFO-taso: 1


Viimeisin päivitys 2024-08-01 klo 20:24