A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Aluminum oxide/titanium dioxide nanolaminates grown by atomic layer deposition : Growth and mechanical properties (2017)


Ylivaara, O. M. E., Kilpi, L., Liu, X., Sintonen, S., Ali, S., Laitinen, M., . . . Puurunen, R. L. (2017). Aluminum oxide/titanium dioxide nanolaminates grown by atomic layer deposition : Growth and mechanical properties. Journal of Vacuum Science and Technology A, 35 (1), 01B105. doi:10.1116/1.4966198


JYU-tekijät tai -toimittajat


Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Ylivaara, Oili M. E.; Kilpi, Lauri; Liu, Xuwen; Sintonen, Sakari; Ali, Saima; Laitinen, Mikko; Julin, Jaakko; Haimi, Eero; Sajavaara, Timo; Lipsanen, Harri; et al.

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

Julkaisuvuosi: 2017

Volyymi: 35

Lehden numero: 1

Artikkelinumero: 01B105

Kustantaja: American Institute of Physics

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.4966198

Avoin saatavuus: Julkaisukanava ei ole avoin

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/51857


YSO-asiasanat: atomikerroskasvatus; alumiini

Vapaat asiasanat: nanolaminates


Liittyvät organisaatiot

JYU-yksiköt:


OKM-raportointi: Kyllä

Raportointivuosi: 2017

JUFO-taso: 1


Viimeisin päivitys 2021-22-02 klo 15:20