A2 Katsausartikkeli tieteellisessä aikausilehdessä
Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD” (2017)

Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Boyadjiev, S., Cameron, D. C., Chen, R., Chubarov, M., Cremers, V., Devi, A., Drozd, V., Elnikova, L., Gottardi, G., Grigoras, K., Hausmann, D. M., Hwang, C. S., Jen, S.-H., Kallio, T., . . . Yurkevich, O. (2017). Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”. Journal of Vacuum Science and Technology A, 35(1), Article 010801. https://doi.org/10.1116/1.4971389

JYU-tekijät tai -toimittajat

Sajavaara, Timo

Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Ahvenniemi, Esko; Akbashev, Andrew R.; Ali, Saima; Bechelany, Mikhael; Berdova, Maria; Boyadjiev, Stefan; Cameron, David C.; Chen, Rong; Chubarov, Mikhail; Cremers, Veronique; et al.

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

eISSN: 1520-8559

Julkaisuvuosi: 2017

Volyymi: 35

Lehden numero: 1

Artikkelinumero: 010801

Kustantaja: AIP Publishing

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.4971389

Julkaisun avoin saatavuus: Avoimesti saatavilla