A2 Katsausartikkeli tieteellisessä aikausilehdessä
Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD” (2017)


Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Boyadjiev, S., . . . Yurkevich, O. (2017). Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”. Journal of Vacuum Science and Technology A, 35 (1), 010801. doi:10.1116/1.4971389


JYU-tekijät tai -toimittajat


Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Ahvenniemi, Esko; Akbashev, Andrew R.; Ali, Saima; Bechelany, Mikhael; Berdova, Maria; Boyadjiev, Stefan; Cameron, David C.; Chen, Rong; Chubarov, Mikhail; Cremers, Veronique; et al.

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

Julkaisuvuosi: 2017

Volyymi: 35

Lehden numero: 1

Artikkelinumero: 010801

Kustantaja: AIP Publishing

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.4971389

Avoin saatavuus: Hybridijulkaisukanavassa ilmestynyt avoin julkaisu

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/52742


YSO-asiasanat: atomikerroskasvatus

Vapaat asiasanat: semiconductor manufacturing; history of technology


Liittyvät organisaatiot

JYU-yksiköt:


OKM-raportointi: Kyllä

Raportointivuosi: 2017

JUFO-taso: 1


Viimeisin päivitys 2021-22-02 klo 15:22