A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Phosphites as precursors in atomic layer deposition thin film synthesis (2021)
Kvamme, K. B., Ruud, A., Weibye, K., Sajavaara, T., & Nilsen, O. (2021). Phosphites as precursors in atomic layer deposition thin film synthesis. Journal of Vacuum Science and Technology A, 39(3), Article 032404. https://doi.org/10.1116/6.0000844
JYU-tekijät tai -toimittajat
Julkaisun tiedot
Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Kvamme, Kristian B.; Ruud, Amund; Weibye, Kristian; Sajavaara, Timo; Nilsen, Ola
Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A
ISSN: 0734-2101
eISSN: 1520-8559
Julkaisuvuosi: 2021
Volyymi: 39
Lehden numero: 3
Artikkelinumero: 032404
Kustantaja: American Institute of Physics
Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)
Julkaisun kieli: englanti
DOI: https://doi.org/10.1116/6.0000844
Julkaisun avoin saatavuus: Avoimesti saatavilla
Julkaisukanavan avoin saatavuus: Osittain avoin julkaisukanava
Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/74637
Tiivistelmä
We here demonstrate a new route for deposition of phosphorous based materials by atomic layer deposition (ALD) using the phosphites Me3PO3 or Et3PO3 as precursors. These contain phosphorous in the oxidation state (III) and are open for deposition of reduced phases by ALD. We have investigated their applicability for the synthesis of LiPO and AlPO materials and characterized their growth by means of in situ quartz crystal microbalance. Phosphites are good alternatives to the established phosphate-based synthesis routes as they have high vapor pressure and are compatible with water as a coreactant during deposition. The deposited materials have been characterized using XPS, x-ray fluorescence, and ion beam analysis for composition analysis, spectroscopic ellipsometry for thickness, and FTIR for local structure.
YSO-asiasanat: ohutkalvot; atomikerroskasvatus; fosfaatit
Vapaat asiasanat: fosfiitit
Liittyvät organisaatiot
OKM-raportointi: Kyllä
Raportointivuosi: 2021
JUFO-taso: 1
