A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Phosphites as precursors in atomic layer deposition thin film synthesis (2021)


Kvamme, K. B., Ruud, A., Weibye, K., Sajavaara, T., & Nilsen, O. (2021). Phosphites as precursors in atomic layer deposition thin film synthesis. Journal of Vacuum Science and Technology A, 39, Article 032404. https://doi.org/10.1116/6.0000844


JYU-tekijät tai -toimittajat


Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Kvamme, Kristian B.; Ruud, Amund; Weibye, Kristian; Sajavaara, Timo; Nilsen, Ola

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

eISSN: 1520-8559

Julkaisuvuosi: 2021

Volyymi: 39

Artikkelinumero: 032404

Kustantaja: American Institute of Physics

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/6.0000844

Julkaisun avoin saatavuus: Avoimesti saatavilla

Julkaisukanavan avoin saatavuus: Osittain avoin julkaisukanava

Julkaisu on rinnakkaistallennettu (JYX): https://jyx.jyu.fi/handle/123456789/74637


Tiivistelmä

We here demonstrate a new route for deposition of phosphorous based materials by atomic layer deposition (ALD) using the phosphites Me3PO3 or Et3PO3 as precursors. These contain phosphorous in the oxidation state (III) and are open for deposition of reduced phases by ALD. We have investigated their applicability for the synthesis of LiPO and AlPO materials and characterized their growth by means of in situ quartz crystal microbalance. Phosphites are good alternatives to the established phosphate-based synthesis routes as they have high vapor pressure and are compatible with water as a coreactant during deposition. The deposited materials have been characterized using XPS, x-ray fluorescence, and ion beam analysis for composition analysis, spectroscopic ellipsometry for thickness, and FTIR for local structure.


YSO-asiasanat: ohutkalvot; atomikerroskasvatus; fosfaatit

Vapaat asiasanat: fosfiitit


Liittyvät organisaatiot

JYU-yksiköt:


OKM-raportointi: Kyllä

Raportointivuosi: 2021

Alustava JUFO-taso: 1


Viimeisin päivitys 2021-17-09 klo 16:52