A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä
Tribological properties of thin films made by atomic layer deposition sliding against silicon (2018)

Kilpi, L., Ylivaara, O. M. E., Vaajoki, A., Liu, X., Rontu, V., Sintonen, S., Haimi, E., Malm, J., Bosund, M., Tuominen, M., Sajavaara, T., Lipsanen, H., Hannula, S.-P., Puurunen, R. L., & Ronkainen, H. (2018). Tribological properties of thin films made by atomic layer deposition sliding against silicon. Journal of Vacuum Science and Technology A, 36(1), Article 01A122. https://doi.org/10.1116/1.5003729

JYU-tekijät tai -toimittajat

Malm, Jari
Sajavaara, Timo

Julkaisun tiedot

Julkaisun kaikki tekijät tai toimittajat: Kilpi, Laura; Ylivaara, Oili M. E.; Vaajoki, Antti; Liu, Xuwen; Rontu, Ville; Sintonen, Sakari; Haimi, Eero; Malm, Jari; Bosund, Markus; Tuominen, Marko; et al.

Lehti tai sarja: Journal of Vacuum Science and Technology A

ISSN: 0734-2101

eISSN: 1520-8559

Julkaisuvuosi: 2018

Volyymi: 36

Lehden numero: 1

Artikkelinumero: 01A122

Kustantaja: AIP Publishing LLC

Kustannuspaikka: Melville

Julkaisumaa: Yhdysvallat (USA)

Julkaisun kieli: englanti

DOI: https://doi.org/10.1116/1.5003729